PCE-22 紫外臭氧清洗机

● 功率：最大350W
● AC 208~240V，单相 50/60Hz

● 去除分子级别的污染物
● 紫外光固化粘合剂
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蚀
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

● 可发出双波长的水银灯
● 功率：55W
● 发出光的波长：254 nm 和 185 nm
● 使用寿命：2500 小时（可更换）
● 照射区域：200 x 200 mm

● 不锈钢壳体
● 抽屉式样品台，以便放样取样
● 样品台面积310 mm x 320 mm
● 臭氧通风装置安装在腔体上
● 样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调）
● 样品台可以加热，最高温度可达150℃
● 可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃
● 设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时

● 直径为80mm的排气口安装在仪器后端
● 请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外
● 仪器中不包含橡胶管

● 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;
● 温度范围：41-104华氏度;
● 最大相对湿度80％，最高87华氏度，104华氏度线性降至50％相对湿度;
● 主电源波动不超过额定电压的10％;
● 污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb。

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。